28.99.20.130 Оборудование для ионной имплантации примесей в полупроводниковые пластины

Вышестоящий уровень

28.99.20 Оборудование и аппаратура, исключительно или в основном используемые для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев

Справочник

Общероссийский классификатор продукции по видам экономической деятельности