RU.77.99.32.008.Е.001657.06.23 Тетракис(диметиламино)титан (TDMAT)/Tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT). (далее согласно приложению)

Номер

RU.77.99.32.008.Е.001657.06.23

Вид документа

свидетельство о государственной регистрации

Статус

подписан и действует

Дата выдачи

28.06.2023

Изготовитель

"Quanjiao Nata Opto-electronic Materials., Ltd" No.686-688 Xincheng Street, Shitan Industrial Park, Shizi Township, Quanjiao County, Chuzhou City, Anhui Province, China

Получатель

ООО "Остек-Интегра" 121351, г. Москва, ул. Партизанская, д. 25, ЭТ/ПОМ/КОМ 4/I/8 8А 8Б 9 9А 9Б 9В 10-20 33 ОГРН 1117746929717

Нормативная документация

Единым санитарно-эпидемиологическим и гигиеническим требованиям к продукции (товарам), подлежащей санитарно-эпидемиологическому надзору (контролю)

Область применения

используется как основа для осаждения тонких пленок титана (Ti) на различные полупроводниковые и диэлектрические подложки при производстве интегральных микросхем.

Протоколы исследований

экспертного заключения об опасных свойствах вещества Филиала РПОХБВ ФБУН "ФНЦГ им. Ф.Ф. Эрисмана" Роспотребнадзора 463-204/и-06/23-8867 от 22.06.2023 г. (Аттестат аккредитации: RA.RU.710211). Информационной карты потенциально опасного химического и биологического вещества серия ВT № 008867.

Справочник

Свидетельства о государственной регистрации продукции (ЕАЭС)