RU.77.99.32.008.Е.004411.06.14 Проявитель ТМА 238WA / Developer TMA 238WA; Наименование вещества по IUPAC: N,N,N-триметилметанаминийгидроксид; синонимы и торговые названия: тетраметиламмоний гидроксид; ТМА238WA Developer (2,38% водный раствор) (CAS: 75-59-2); (ЕС: 200-882-9)

Номер

RU.77.99.32.008.Е.004411.06.14

Вид документа

свидетельство о государственной регистрации

Статус

подписан и действует

Дата выдачи

06.06.2014

Изготовитель

"JSR Micro NV", Technologielaan 8-B-3001 Leuven

Получатель

ООО "ЭЛИНТ СП", 127018, г. Москва, 3-й проезд Марьиной Рощи, д. 40, стр. 1, этаж 6

Нормативная документация

Единым санитарно-эпидемиологическим и гигиеническим требованиям к товарам, подлежащим санитарно-эпидемиологическому надзору (контролю)

Область применения

для формирования изображения на поверхности кремниевой пластины при производстве микросхем сверхбольшой интеграции

Протоколы исследований

экспертного заключения об опасных свойствах вещества ФБУЗ "Российский регистр потенциально опасных химических и биологических веществ" Роспотребнадзора № 07/22-478 14в от 08.05.2014 г., Информационной карты потенциально опасного химического и биологического вещества серия ВT № 003605

Справочник

Свидетельства о государственной регистрации продукции (ЕАЭС)