RU.77.99.32.008.Е.005198.11.16 Оксид триэтоксифосфата/TEPO (TRIETHYL PHOSPHATE). Наименование вещества: по IUPAC: Триэтилфосфат. синонимы и торговые названия: Этилфосфат; трисэтиловый эфир фосфорной кислоты; этиловый эфир фосфорной кислоты; триэтоксифосфин оксид. (CAS: 78-40-0) (EC: 201-114-5)

Номер

RU.77.99.32.008.Е.005198.11.16

Вид документа

свидетельство о государственной регистрации

Статус

подписан и действует

Дата выдачи

09.11.2016

Изготовитель

"Versum Materials US, LLC", 7201 Hamilton Blvd, Allentown PA 18195-1501, USA

Получатель

ООО "ЭЛИНТ СП", 127018, г. Москва, 3-й проезд Марьиной Рощи, д. 40, стр. 1, этаж 6

Нормативная документация

Единым санитарно-эпидемиологическим и гигиеническим требованиям к товарам, подлежащим санитарно-эпидемиологическому надзору (контролю)

Область применения

для осаждения легированных фосфором слоев оксида кремния при производстве микросхем сверхбольшой интеграции

Протоколы исследований

экспертного заключения об опасных свойствах вещества ФБУЗ "Российский регистр потенциально опасных химических и биологических веществ" Роспотребнадзора № 07/22-1318 от 03.11.2016 г. Информационной карты потенциально опасного химического и биологического вещества серия ВТ № 001856

Справочник

Свидетельства о государственной регистрации продукции (ЕАЭС)